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江苏三米科思半导体设备有限公司

一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造...

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7nm图形晶圆缺陷检测系统
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产 品： 浏览次数：58407nm图形晶圆缺陷检测系统 
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所在地： 江苏常州市
有效期至： 长期有效
最后更新： 2025-03-17 10:17
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详细信息
 我们的设备应用于200mm和300mm晶圆的7nm集成电路的前道制造，它具有 高产率、高灵敏度暗场缺陷检测的特征，是提升和控制产线良率的理想工具。 系统使用DUV光源、超大数值孔径光子采集聚焦镜头，缺陷检测灵敏度以及产率达到了行业同类产品的先进水平。与该产品相关的多项发明专利在申请中。
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